ellissometria è una tecnica ottica per misurare lo spessore e le proprietà ottiche di film estremamente sottili, o strati di materiale. Le proprietà misurabili sono l'indice di rifrazione, o quanta luce si piega, e il livello di assorbimento della luce, chiamato coefficiente di assorbimento . Un ellipsometer è un dispositivo utilizzato per effettuare queste misurazioni.

Ellipsometers lavoro di una sorgente luminosa ben definito di luce su un materiale e di cogliere il riflesso. Ellipsometers moderni utilizzano il laser, in genere laser Elio-Neon, come la fonte. Il fascio ellipsometer passa prima attraverso un polarizzatore in modo che la luce solo orientati in una direzione noto è consentito il passaggio. Si passa poi attraverso un dispositivo chiamato compensatore, che polarizza ellittica del fascio di luce. La luce rimanente viene poi rimbalzare il materiale oggetto di studio.

L'analisi dipende dalla legge di Snell, quando un fascio di luce colpisce un materiale, alcuni si riflettono immediatamente, e alcuni passerà attraverso il lato più lontano del materiale prima di riflettere. Misurando la differenza tra le due riflessioni, lo spessore del dispositivo può essere determinato. La luce riflessa subisce anche un cambiamento di polarizzazione, questo cambiamento è utilizzato per calcolare l'indice di rifrazione e coefficiente di assorbimento.

Per un ellipsometer per funzionare correttamente, il materiale in esame deve soddisfare alcune proprietà fisiche. Il campione deve essere composto da un piccolo numero di strati ben definiti. I livelli devono essere otticamente omogenea, hanno identica struttura molecolare in tutte le direzioni, e riflettono notevoli quantità di luce. Se uno qualsiasi di questi requisiti sono violati, le procedure standard non funzionerà.

Ellipsometers sono dispositivi estremamente sensibile, in grado di misurare i livelli sottile come un atomo. Essi sono ampiamente utilizzati nella produzione di semiconduttori in cui strati successivi di materiale chimicamente sono coltivati su uno sopra l'altro.

ellissometria non è distruttiva, un materiale che è misurato da un ellipsometer non è negativamente influenzato dal processo. Proprio per questa caratteristica, l'uso di ellipsometers nelle scienze biologiche è in aumento. Materiali biologici sono molto meno uniforme di quanto materiale prodotto, e generalmente non hanno le caratteristiche fisiche necessarie per ellissometria tradizionali. Nuove tecniche, come l'utilizzo di ellipsometers più disposti ad angoli diversi, sono stati sviluppati per lavorare con i materiali del genere.